產(chǎn)品目錄
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POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) NPP 標(biāo)準(zhǔn)版
POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) NPP 標(biāo)準(zhǔn)版
POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī)，由NPP 制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。
可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)臺(tái)式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動(dòng)或自動(dòng)（可選）化學(xué)藥劑分配。
適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。
POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) NPP 標(biāo)準(zhǔn)版
腔室規(guī)格:
- 最大支持6英寸（150毫米）晶圓
- 最大支持4英寸×4英寸（100毫米）
- 材質(zhì): 天然聚丙烯(NPP)
硬件規(guī)格:
- 液體過(guò)濾器
- 具有特殊的外殼和排水設(shè)計(jì)，可在現(xiàn)場(chǎng)輕松切換臺(tái)式和嵌入式型號(hào).
- 配備中心注射架，用于安裝注射器或分配噴嘴
- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全
-大型（可拆卸）觸摸顯示屏
- USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動(dòng)器上存儲(chǔ)配方和進(jìn)行軟件更新
- 3 I/O端口
驅(qū)動(dòng)單元規(guī)格:
- 采用間接無(wú)刷驅(qū)動(dòng)單元
- 最高轉(zhuǎn)速可達(dá)12,000 RPM（取決于基板/卡盤(pán)）
- 具有高加速度和高精度
- 加/減速范圍為1-30,000 RPM
- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項(xiàng)
隨附旋涂?jī)x卡盤(pán)和適配器:
-隨附1 x A-V36-S45-PP-HD, 真空卡盤(pán)
-隨附1 x D-V10-S50-PP-HD, 碎片適配器
- FCA SPS-Asia, Singapore
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